繭型コロイダルシリカ

この砥粒は、1980年代からシリコンウェハー仕上研磨剤に使われ始め、タイテムはこの砥粒の製造技術特許の専用実施権を持っています。
現在では、殆どの当該仕上研磨剤はこの技術で製造した砥粒が基材となっています。